半导体硅晶圆片和硅抛光片有什么区别?一般Wafer指什么?

回答者：ctroom

硅晶圆片包括硅抛光片。硅棒加工成片后,成为切片,切片经过磨片加工成为研磨片,研磨片经过化学腐蚀后成为化腐片,化腐片经过抛光后成为抛光片。wafer通常指圆片了