分子泵和机械泵同时对腔室抽真空,会有什么后果

2024-02-21 21:47:32
回答者：jd_158671kar
你说的同时是串联还是并联啊,串联的话真空度会变高流量没啥变化,并联的话流量有变化真空度还是分子泵的真空度。
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