中环真空镀膜机炸炉是怎么回事

回答者：jd_44566f8ff8a7d

炸炉是不分谁家设备的，1维持泵没有工作阀没有打开，2。在粗抽泵停的情况下开了2阀。3在门开的2阀开的情况下开了1阀。就可能出现炸炉。就是大气进入扩散泵，负压变正压顶开高阀